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科技成果 / S & T achievements
光机电与先进制造领域

JRCODE-Stitching子孔径干涉测量系统

2020-03-22 22:15

    子孔径拼接干涉检测技术是一种将子孔径拼接技术与干涉计量技术相结合进行大口径平面、非球面面形检验的新方法。测量大口径平面镜、非球面、自由曲面,不需要大口径的干涉仪、光学补偿器或CGH等辅助元件,同时可以获得中高频的相位信息,不仅提高了分辨率,而且降低了成本,节省了时间。


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